摘要：介紹了一種單片集成式光-頻率轉換芯片,給出了流片芯片的測試結果。芯片內部光電二極管產生隨光強變化的光生電流,積分電容將其轉換為電壓信號,當電壓達到比較器閾值時,比較器翻轉,振蕩電路振蕩,光強被轉變為頻率信號。采用0.6μm 2P3M工藝進行了流片,實現了芯片在三端封裝條件下的正常工作,芯片尺寸為1.8mm×1.7mm,光敏區面積為850μm×850μm,非線性小于1%,暗電流小于1Hz,輸出信號占空比為50%,芯片最高輸出頻率為1MHz。