基于光柵位移測量的反射鏡設計
耿浩; 韓躍平; 張瑞; 李孟委 中北大學微系統集成研究中心; 山西太原030051; 中北大學信息與通信工程學院; 山西太原030051; 中北大學儀器科學與動態測試教育部重點實驗室; 山西太原030051
- 反射鏡
- 靜電調節
- 光柵位移測量
摘要：針對集成光柵-反射鏡位移測試中工藝及裝配誤差導致反射鏡與光柵不能平行的問題,本文設計了一種可自主調節的反射鏡.與傳統的工藝精度控制不同,方案重點對可調節反射鏡結構進行設計,反射鏡的偏轉采用電容板來調節.建立了單層光柵與反射鏡測量位移的理論模型,分析了兩者不平行導致的測量誤差,通過Ansys軟件進行靜力學分析,施加0~50V電壓,仿真得到靜電力作用下反射鏡偏轉最大位移為7μm,提取的最大應力35MPa.仿真結果表明所設計的反射鏡可調節范圍大于不平行誤差,從理論上驗證了反射鏡調節的可行性.
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