采用六西格瑪方法提高三氟化硼氣體純度
任少科 中昊光明化工研究設計院有限公司; 遼寧大連116031
- 六西格瑪管理
- 三氟化硼
- 純度
摘要：高純三氟化硼是半導體離子注入用的重要摻雜離子源,在電子工業中有著廣泛的應用。采用六西格瑪流程改善方法,通過D-定義、M-測量、A-分析、I-改進、C-控制五個階段,找出影響三氟化硼純度的主要因子,然后對因子進行改進,通過試運行后,最終將三氟化硼純度從99.5%提高到99.95%。
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