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摘要:針對計量型掃描電鏡成像方法的特殊需求,提出了一種新型的納米位移臺掃描運動控制方法。利用乘法DA控制方法實現了納米位移臺驅動信號的整形輸出。利用該模擬信號實現了納米位移臺的掃描范圍的增益控制,掃描圖像的旋轉和偏移控制。該控制方法有效地的保持了納米位移臺的步進位移分辨力,克服了傳統納米位移臺控制系統損失納米步進精度的缺點。通過實驗驗證了此位移臺控制新方法的可行性,位移臺移動方式和理論吻合。
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