摘要：針對亞波長光柵偏振分束器無法實現垂直出射光、集成耦合效率低的問題,本文設計了一種具有光束偏轉功能的亞波長光柵偏振分束器,可實現偏振分束且能獲得垂直出射光。器件上層采用光柵衍射理論設計了可實現偏振分束的周期亞波長光柵,下層通過嚴格耦合波法與波前相位控制理論設計了具有光束偏轉功能的非周期亞波長光柵。基于有限元軟件COMSOL對設計的器件進行仿真分析,結果表明該器件可分開TE與TM混合偏振光且能實現光束垂直出射,兩種偏振光的總透射率在1550nm處超過了76.5%,偏振消光比為14.0dB。因此通過該偏振分束器不但可以獲得垂直出射的單偏振光,而且能有效提高垂直耦合型器件的工作效率,有望應用在面向光纖通信的集成光電器件中。