摘要：激光會聚鉻原子沉積實驗所需時間可長達幾十分鐘至幾個小時,實驗過程中要求激光頻率的波動小于5MHz,感生熒光穩頻技術能夠解決原子沉積實驗中激光頻率漂移的問題。為了保證激光頻率的長時間穩定性,對穩頻系統的誤差信號隨激光功率及原子爐溫度的變化情況進行了研究。結果顯示,在光強為8mW,原子爐溫度為1923K時,激光頻率的長期漂移可抑制到最小,在200分鐘內的頻率波動僅有±0.6MHz。同時,重復實驗的結果也表明穩頻系統具有很好的穩定性,從而為原子沉積技術提供了保障,并提高了沉積實驗的重復性。