摘要：介紹了實(shí)驗(yàn)室研制的微波電子回旋共振(ECR)等離子體陰極電子束系統(tǒng)及初步研究結(jié)果,該系統(tǒng)包括微波ECR等離子體源、電子束引出極、聚焦線圈等。通過測(cè)量水冷靶電流和靶上的束斑尺寸,實(shí)驗(yàn)研究了微波ECR等離子體陰極電子束的流強(qiáng)、聚束性能等隨電子束系統(tǒng)工作條件的變化。結(jié)果表明:微波輸入功率越高、引出電壓越高,引出電子束流強(qiáng)越大;工作氣壓對(duì)電子束流強(qiáng)的影響較復(fù)雜,隨氣壓增加呈現(xiàn)出先降低后升高的特點(diǎn);在7×10^-4Pa的極低氣壓下電子束流強(qiáng)可達(dá)75m A,引出電壓9kV;能量利用率可達(dá)0.6;調(diào)整聚焦線圈的驅(qū)動(dòng)電流,電子束的束斑直徑從20mm減小到13mm,電子束流強(qiáng)未有明顯變化。