摘要：針對(duì)某型超精密機(jī)床液體靜壓導(dǎo)軌溫度控制進(jìn)行深入研究,提出多種不同的溫度控制方法,并應(yīng)用ANSYS仿真軟件分別對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌熱變形進(jìn)行了仿真,得出了不同溫度控制方法下導(dǎo)軌的熱變形大小。仿真結(jié)果顯示,針對(duì)不同使用環(huán)境,通過(guò)不同的溫度控制方法,對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行熱變形控制,從而滿足超精密機(jī)床的使用要求,提高超精密機(jī)床的加工精度。。