摘要：Laue晶體單色器常用于單色化高能X射線(>50keV),通過對其晶片壓彎可以實現(xiàn)高能光束聚焦。晶片壓彎過程中會不可避免地產(chǎn)生扭曲,從而影響單色器的工作效率。利用波動光學(xué)仿真的方法,分析彎晶面形扭曲對Laue晶體單色器性能的影響,并提出一種角位移微調(diào)軸角裝置,用來消除這種扭曲。該裝置基于直梁型柔性鉸鏈,利用疊加原理和對稱結(jié)構(gòu)。利用有限元方法分析了該裝置的力學(xué)性能。分析結(jié)果表明,軸角裝置的轉(zhuǎn)角范圍為±2°時,其轉(zhuǎn)動中心最大偏移為20μm,實現(xiàn)了角位移分辨率好于1″,動態(tài)范圍達(dá)到104,達(dá)到設(shè)計目標(biāo)。