摘要：文章對半導體集成電路生產中可能接觸到的主要污染物類型及造成污染的主要原因做了詳細介紹.為減少對半導體集成電路的污染,必須保證半導體集成電路的生產在高度潔凈的環(huán)境中進行.集成電路制造業(yè)是一個在超凈化環(huán)境中,使用超純材料,進行超微細加工的產業(yè).文章還對各種潔凈標準做了詳細介紹.隨著集成電路生產目前進入深亞微米及納米級工藝加工階段,工藝參數以及圖形線寬也發(fā)生了變化,因此對潔凈度等級、工藝中所使用的材料品種和純度指標的要求還在不斷提升.