納秒脈沖驅動下鋁基微溝道等離子體放電特性研究
麻曉琴; 周璇; 王耀功; 楊靜遠; 張小寧 西安交通大學電子物理與器件教育部重點實驗室; 西安710049; 西安交通大學電子與信息工程學院; 西安710049; 生態環境部核與輻射安全中心; 北京100082
- 微溝道器件
- 微溝道等離子體
- 雙極性脈沖
- 等離子體傳輸
摘要：本文設計制作了基于鋁基襯底的微溝道陣列器件,并研究了納秒脈沖微溝道等離子體放電特性。通過調控納秒脈沖輸出波形,獲得了脈沖參數對微溝道等離子體放電特性的影響規律。結果表明,相比于傳統的正弦波驅動,納秒脈沖微溝道等離子體放電更集中,耦合效應更明顯,且等離子體特性更易于調控。當改變脈沖參數時,6%左右的波形過沖電壓會造成微溝道等離子體放電強度~30%的改變。另外,脈沖上升沿時間越短,放電強度越高,當上升沿時間由152 ns縮短至32 ns時,放電強度可提升~30%。
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